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产品描述
参数
仪器简介：
特点：
高耐压性
橡胶密封、模拟电路的mfc
采用db15型电插头，国际标准机械接头
ce认证，国际兼容
用途：
质量流量控制器（mfc）用于对气体的质量流量进行精
密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、
石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制
气配气等行业。
技术参数：
| 产品型号 | d07-11c |
| 产品类型 | 高耐压型,抗电磁干扰 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 产品精度 | ±1 % f.s (20,30slm: ±2 % f.s) |
| 重复精度 | ±0.2% fs |
| 线性 | ±0.5 % f.s (20,30slm: ±2 % f.s) |
| 响应时间 | 电特性: 10sec; 气特性:≤4sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°c |
| 耐压 | 10mpa |
| 密封材料 | 氟橡胶viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) neoprene,聚四氟乙烯 teflon |
| 输入输出信号 | 0 v ~ 5.00 v (输入阻抗大于100k, 输出电流不大于3ma) |
| 电源 | ±15v |
| 电气连接 | d sub 15 pins male |
| 工作压差范围 | (0.2～0.6) mpa （10slm＜f.s.）,(0.2～0.8) mpa （f.s.≤10slm） |
| 漏率 | 1×10-10atm?cc / sec he（1×10-11 pa?m3 / sec he） |
| 标准街头形式 | 双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套φ8,双卡套φ6,双卡套φ10,双卡套3/8”,vcr1/4”,双卡套1/4” |
| 抗电磁干扰 | ce |
| 重量 | 1kg |
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d07-9e 气体质量流量控制器
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