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产品描述
参数
产品简介： 质量流量控制器（mfc）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
质量流量控制器（mfc）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
主要特点：
高性能价格比、普通型产品
橡胶密封、模拟电路的mfc
7a型的更新换代型
管状分流，使用寿命长
| 满量程流量范围（n2） | 5sccm～10slm | |
| 控制范围 | 2～100％f.s. | |
| 阀类型（及阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） | |
| 准确度 | ±1.5％f.s. | |
| 线性 | ±0.5～1.5％f.s. | |
| 重复精度 | ±0.2％f.s. | |
| 响应时间 | 电特性: 10 sec 气特性: ≤ 4 sec |
|
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |
| 工作压差 | 0.1～0.5mpa | |
| 耐压 | 3mpa | |
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec he | |
| 通道湿材料 | 316l不锈钢、密封材料 | |
| 静密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） | |
| 动密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） | |
| 接头选择 | vcr | 1/4” |
| 双卡套 | 1/8”、1/4”或φ6、φ3 | |
| 重量 | 1.1kg | |
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