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d07-尊龙凯时app

品牌:七星华创 型号:d07-7b
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产品描述
参数

产品简介: 质量流量控制器(mfc)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
 质量流量控制器(mfc)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
主要特点:
    高性能价格比、普通型产品
    橡胶密封、模拟电路的mfc
    7a型的更新换代型
管状分流,使用寿命长

满量程流量范围(n2) 5sccm~10slm
控制范围 2~100%f.s.
阀类型(及阀初始状态) 电磁调节阀(常闭)
准确度 ±1.5%f.s.
线性 ±0.5~1.5%f.s.
重复精度 ±0.2%f.s.
响应时间 电特性:    10  sec
气特性:  ≤ 4  sec
工作温度范围 5~45℃
工作压差 0.1~0.5mpa
耐压 3mpa
漏气率 1×10-8atm.cc/sec he
通道湿材料 316l不锈钢、密封材料
静密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶)
动密封材料 氟橡胶(或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯)
接头选择 vcr 1/4”
双卡套 1/8”、1/4”或φ6、φ3
重量 1.1kg

 

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